도쿄일렉트론과 세이코 앱슨，유기EL 디스플레이 제조기술 공동개발
도쿄일렉트론과 세이코 앱슨，유기EL 디스플레이 제조기술 공동개발
도쿄일렉트론과 세이코 앱슨은 최근 유기EL 디스플레이 제조기술의 공동개발 계약을 체결했다.
유기EL 디스플레이 제조는 글라스 기판 위에 유기재료를 균일하게 박막으로 도포하는 공정이 부가결하며 현재는 진공 속에서 마스크를 이용하여 글라스 기판 위에 박막을 형성하는 ‘마스크 증착방식’이 일반적인 방법이다. 그러나 향후 유기EL 디스플레이의 양산을 위해서는 생산성 개선 등 과제도 많고 이들을 해결할 수 있는 차세대 박막기술 ‘잉크제트 방식’을 적용한 제조기술의 개발이 요구되고 있다.
세이코 앱슨은 ‘잉크제트 방식에 의한 유기재료의 균일한 박막형성 기술’을 확보하는 등 유기EL 디스플레이의 핵심 기술을 다수 보유하고 있다. 또 액정TV용 컬러 필터의 대형 도포장치를 개발, 판매하는 등 산업용 잉크제트 기술분야에서도 노하우를 축적하고 있다.
도쿄일렉트론은 플랫 패널 디스플레이 제조장치 분야에서 최신 초대형 기판 사이즈까지의 드라이에칭 장치나 코터/디벨로퍼 등의 제품을 개발, 판매하고 있다.
이번 공동개발은 양사의 강점인 세이코 앱슨의 잉크제트를 이용한 유기EL 디스플레이 제조기술과 도쿄일렉트론의 장치 기술을 융합시키는 것이다. 양사는 앞으로 차세대 유기EL 디스플레이 제조기술을 토털 패키지로 제공할 수 있도록 공동개발을 추진하고 있다.
30인치 이상의 대형 유기EL 패널의 양산장치를 개발해서 한국의 삼성전자나 LG전자， 기타 일본 메이커의 수요를 개척할 계획이다.
http://www.epson.jp/osirase/2010/101111_2.htm
http://www.epson.jp/technology/mirai/inkjet/index.htm